三氯氢硅属于什么物

三氯硅烷是一种无机化合物，化学式为SiHCl3。 制备的干燥硅粉在氯化流化床炉中与干燥的氯化氢气体在340℃下反应，生成的粗三氯氢硅通过湿式除尘器和管束冷凝蒸馏塔分离成四氯。