台式扫描电镜，只配置一个背散射电子探测器，如日立TM-3000，复纳 Phenom™ G2 ，有什么不好吗？

背散射电子探测器有多种样式，只配置一个背散射电子探测器，一般是最简单的环形四分割半导体背散射探测器，对材料表面形貌不太关心的应用有较好的效果。但如果关注材料表面微观形貌，这种探测器有很多弊端，通过信号运算合成的所谓形貌模式，相对真实的形貌，有很多不可思议的加工假象。建议选择二次电子探测器。

1、性质不同：二次电子像是以入射方向逸出样品的电子。背散射电子像是在扫描电子显微镜中，通过电子q产生的电子，经过加速磁场、偏转磁场后，照射到待检测的样品表面，待检测样品会反射一部分的电子。

2、特点不同：在扫描电子显微镜的工作镜腔里的背散射电子探头就会检测到这些被反射的电子，进而在检测器上所成的像。二次电子的产额强烈依赖于入射束与试样表面法线间的夹角a ，a大的面发射的二次电子多。

3、特征不同：二次电子像主要是反映样品表面10nm左右的形貌特征，像的衬度是形貌衬度，衬度的形成主要取于样品表面相对于入射电子束的倾角。电子照射到待测样品的过程中，样品能发射一部分电子，背散射电子探头就会检测到这些电子，从而产生相应的电信号。

扩展资料：

注意事项：

二次电子主要显示形貌衬度，背散射同时还可以表现成分衬度，但形貌衬度表现的不如二次电子，背向电子源的不能被接收，所以分辨能力稍差。

能量相同的电子束轰击样品形貌不同的区域，产生的二次电子的深度一样。但是二次电子产生后，最终要能逃出样品表面才能被接收到。设α 为入射电子束与试样表面法线的夹角，对光滑试样表面，二次电子的产额 δ∝1/cosα。α越大，入射电子越靠近试样表面层。

参考资料来源：百度百科-背散射电子像

参考资料来源：百度百科-二次电子像

In lens是一个镜筒内光轴上的二次电子探头。

__eam Booster开启的前提下工作，主要用于成高分辨的二次电子像；SE1是镜筒外的二次电子探头，用于成常规二次电子像。

_SE是镜筒内光轴上的背散射电子探头，同样在Beam Booster开启的前提下工作，用于成样品表面背散射电子像。

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