
半导体室温时电阻率约在10-5~107欧·米之间,温度升高时电阻率指数则减小。
半导体材料很多,按化学成分可分为元素半导体和化合物半导体两大类。
锗和硅是最常用的元素半导体;化合物半导体包括Ⅲ-Ⅴ 族化合物(砷化镓、磷化镓等)、Ⅱ-Ⅵ族化合物( 硫化镉、硫化锌等)、氧化物(锰、铬、铁、铜的氧化物),以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物组成的固溶体(镓铝砷、镓砷磷等)。除上述晶态半导体外,还有非晶态的玻璃半导体、有机半导体等。
半导体分为本征半导体和杂质半导体。杂质半导体就是我们制作晶体管用的。阁下学将要学电子的吧,。
光刻分辨率是指将硅片上两个邻近的特征图形区分开来的能力。光刻中的一个重要的性能指标指的是每个图形的分辨率。在先进的半导体集成电路制造中,为获得高集成度器件分辨率很关键。光刻分辨率对任何光学系统都是一个重要的参数,并且对光刻很关键,因为需要在硅片上制造出极小的器件尺寸。硅片上形成图形的实际尺寸就是特征尺寸,最小的特征尺寸即关键尺寸,对于关键尺寸来说,光刻分辨率很重要。光刻技术类似于照片的印相技术,光刻胶相当于相纸上的感光材料,光刻掩模相当于相片底片。光刻技术通过显影、定影、坚膜等步骤溶解掉光刻掩模上的一些区域,形成版形。伴随集成电路制造工艺的不断进步,线宽的不断缩小,半导体器件的面积正变得越来越小,半导体的布局已经从普通的单一功能分离器件,演变成整合高密度多功能的集成电路。由最初的IC(集成电路)随后到LSI(大规模集成电路)和VLSI(超大规模集成电路),直至今天的ULSI(特大规模集成电路),器件的面积进一步缩小,功能更为全面强大。由于半导体工艺研发的复杂性、长期性和高昂的成本等等不利因素的制约,如何在现有技术水平的基础上进一步提高器件的集成密度,缩小芯片的面积,在同一枚硅片上尽可能多的得到有效的芯片数,从而提高整体利益,将越来越受到芯片设计者和制造商的重视。这其中的主要手段是不断提升或采购先进的光刻设备,以求在光学上得到更高的分辨率表现以及提升光刻胶的化学表现。现针对这两个方面进行说明从光学方面来讲光的衍射是光通过不透明体边缘,穿过狭缝或从划有平行直线的表面反射时产生偏折并出现一些彼此平行的亮带和暗带的现象。半导体生产中使用的光刻技术主要基于上述原理当光线通过掩膜版时,由于受到掩膜版图形的影响,使光线发生偏折,根据掩膜版图形的尺寸大小从而产生数量不同的衍射级数,基本的计算工式P*Sinα=n*λ (公式1)P是图形的透明区域和不透明部分宽度的总和;α是衍射角度;λ是光刻机使用的波长;n即是衍射级数。根据数值孔径的分辨率的概念和计算公式NA=N*Sinα (公式2)R=K1*λ/NA (公式3)数值孔径NA(Numerical Aperture)是光刻机镜头能力的重要表征,数值越高其带来的分辨率R越高;N是光酸的浓度;K1是系数因子,与工艺的能力,设备的波长,数值孔径等的基本参数相关。当数值孔径为某个定值时通过公式2可以得到最大有效衍射角,由此带入公式1得到可以被镜头收集的衍射级数。收集的衍射级数越多,图形的逼真程度越高,由此得到的空间图像对比度也会大大提高。因此,不断提高数值孔径即是光学上提高分辨率的一条根本途径,但由于设备的制造成本不断激增,镜头的制备也难上加难,无疑未来这条路将变得十分坎坷、艰辛。1.函数y=Asin(ωx+φ)的图像与y=sinx的图像关系.(1)振幅变换:函数y=Asinx(A>0,且A≠1)的图像,可以看作是y=sinx图像上所有点的纵坐标伸长(A>1)或缩短(0<A<1)到原来的A倍(横坐标不变)而得到的.这种变换叫振幅变换,它实质上是纵向的伸缩.
(2)周期变换:函数y=sinωx(ω>0,且ω≠1)的图像,可以看作是把y=sinx的图像上各点的横坐标都缩短(ω>1)或伸长(0<ω<1到原来的倍(纵坐标不变)而得到的,由y=sinx的图像变换为y=sinωx的图像,其周期由2π变.这种变换叫做周期变换.它实质上是横向的伸缩.
(3)相位变换:函数y=sin(x+φ)(φ≠0)的图像,可以看作是把y=sinx的图像上各点向左(φ>0)或向右(φ<0)平移|φ|个单位而得到的.这种由y=sinx的图像变换为y=sin(x+φ)的图像的变换,使相位x变为x+φ,我们称它为相位变换.它实质上是一种左右平移变换.
应用振幅变换、周期变换、相位变换(左右平移变移)和上下平移变换可由y=sinx的图像得到y=Asin(ωx+φ)+k的图像.
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