0 引 言微 *** 作已在许多应用领域得到了应用，特别是在纳微米级的定位系统中，要求传感器能检测出微小的力和位移的信息。目前用于微位移检测的原理较多，如光学式、磁和电感式、电容式和压电式等，但这些大多不便用
